-
חלקי חילוף קרמיים לציוד גשש מוליכים למחצה
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
נשא ציוד מוליכים למחצה לצלחות קרמיות
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
חלקי חילוף קרמיים לציוד מוליכים למחצה
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
טבעת איטום קרמית מאלומינה טהורה במיוחד לאיטום תא בטמפרטורה גבוהה
טבעת האטם הקרמית של St.Cera מתוכננת כחלופה לטבעות O מפולימר בסביבות קיצוניות בהן אלסטומרים מתכלים. טבעת האטם הקשיחה הזו, המיוצרת מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה, משמשת ביישומי איטום סטטיים - בדרך כלל בשילוב עם אטם מתכת רך או גרפיט - כדי לספק בלימת ואקום או גז אמינה בטמפרטורות של עד 800 מעלות צלזיוס ובסביבות פלזמה או כימיות אגרסיביות. החומר מציע אפס פליטת גזים, חוזק דחיסה גבוה (חוזק כיפוף בסיסי 361 MPa), ואדישות כימית (עמיד בפני הלוגנים, חומצות ואלקליות למעט HF). משטחי איטום בעלי ליטוש מדויק (שטוחות ≤5 מיקרון, חספוס פני השטח Ra ≤0.2 מיקרון) מבטיחים מגע אטום לדליפות עם רכיבי מתכת או קרמיקה מתחברים.
-
טבעת מיקוד תא אלומינה טהורה במיוחד עבור מערכות איכול פלזמה ו-CVD
טבעת המיקוד לתא של St.Cera היא רכיב קריטי בערכת תהליך המשמש בציוד לחריטת פלזמה, CVD ו-PVD למחצה. הטבעת, המיוצרת מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה, מקיפה את קצה הוופל כדי להגביל את הפלזמה ולמטב את פיזור הזווית של היונים, ובכך לשפר את אחידות החריטה על פני הוופל. החומר מציע עמידות יוצאת דופן לפלזמה, חוזק דיאלקטרי גבוה (15×10⁶ V/m) ויציבות תרמית עד 1600°C, מה שמבטיח אמינות לטווח ארוך בסביבות פלזמה אגרסיביות מבוססות פלואור או כלור. מזהה/חיצוני חיצוני (ID/OD) וטמפרטורת שיחוס מדויקת ושטיחות (≤10 מיקרומטר) מאפשרים מיקום מדויק של קצה הוופל, תוך הפחתת פגמי קצה ויצירת חלקיקים.
-
טבעת קרמית אלומינה טהורה במיוחד לתאי תהליך CVD/PVD
טבעת הקרמיקה של St.Cera תוכננה במיוחד לשימוש בתאי תהליך CVD (Chemical Vapor Deposition) ו-PVD (Physical Vapor Deposition). הטבעת, המיוצרת מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה, משמשת כבטנה של התא, טבעת מיקוד או רכיב ערכת תהליך כדי לכלול את הפלזמה ולהגן על דפנות התא מפני שחיקה. החומר מציע עמידות מצוינת לפלזמה, חוזק דיאלקטרי גבוה (15×10⁶ V/m) ויציבות תרמית עד 1600°C, מה שמבטיח חיי שירות ארוכים בסביבות פלזמה אגרסיביות מבוססות פלואור. סבולות מידות מדויקות (±0.05 מ"מ בקוטר פנימי/קוטר חיצוני) ושטיחות (≤10 מיקרומטר) מאפשרות מיקום עקבי של קצה פרוסת הוופל, משפרות את אחידות השיקוע ומפחיתות את יצירת החלקיקים.
-
אפקטור קצה קרמי של ברנולי - טיפול פרוסות ללא מגע עבור פרוסות דקות ושבירות
אפקטור הקצה הקרמי של St.Cera, המיוצר מאלומינה (Al₂O₃) או סיליקון קרביד (SiC) בטוהר גבוה, כולל חרירים מעובדים בדיוק רב אשר פולטים גז בלחץ ליצירת שכבת אוויר דקה בין אפקטור הקצה לפלח הקש. עיקרון זה של אי-מגע מבטל זיהום בצד האחורי, סדקים בקצוות ונזקי פני השטח, מה שהופך אותו לאידיאלי עבור ופלים דקים (≤100 מיקרומטר), שבירים או מעוותים. המצע הקרמי מספק חוזק כיפוף גבוה (361 MPa עבור Al₂O₃; עד 550-600 MPa עבור SiC), מסה נמוכה ויציבות ממדית מעולה, ומבטיחים מיקום חוזר ברובוטים להעברת ופלים במהירות גבוהה.
-
חלקי קרמיקה מאלומינה טהורה במיוחד עבור יישומים תעשייתיים ומוליכים למחצה
חברת St.Cera מייצרת חלקי קרמיקה מאלומינה (Al₂O₃) המעובדים במדויק לפי מפרטי הלקוח. רכיבים אלה, העשויים מאלומינה בעלת טוהר גבוה של 99.8%, מספקים חוזק כיפוף מעולה (361 מגה פסקל), קשיות גבוהה (16 ג'יגה פסקל) וחוזק דיאלקטרי יוצא דופן (15×10⁶ וולט/מטר). החומר, המיועד לציוד מוליכים למחצה, מכלולים עמידים בפני שחיקה, מבודדים חשמליים וגופי טמפרטורה גבוהה, מציע ספיגת מים כמעט אפסית (0%) ומקדם התפשטות תרמית של 7.2×10⁻⁶/℃, מה שמבטיח יציבות ממדית בתנאים קיצוניים.
-
צ'אק ואקום קרמי נקבובי לטיפול בפרוסות מעוותות
הצ'אק הקרמי הנקבובי של St.Cera עשוי מאלומינה בעלת טוהר גבוה, בעלת נקבוביות פתוחה אחידה של 30-45% וגדלי נקבוביות הנעים בין 10 ל-100 מיקרון. בניגוד לצ'אקים מחורצים קונבנציונליים, המשטח הנקבובי מספק ואקום מבוזר על פני כל הצד האחורי של הוופל, ומחזיק ביעילות ופלים מעוותים, דקים או מחודדים ללא התרוממות קצה או שבירה. הוואקום העדין (ניתן לכוונון באמצעות מגביל) מונע גם סימון בצד האחורי.
-
צ'אק ואקום קרמי נקבובי מבוסס אלומינה לטיפול בפרוסות דקות
הצ'אק הנקבובי מבוסס אלומינה של St.Cera מיוצר מ-99.6% Al₂O₃ בטוהר גבוה עם נקבוביות פתוחה מבוקרת של 30-45% וגודל נקבוביות אחיד הנע בין 10 ל-50 מיקרון. בניגוד לצ'אקים מחורצים, המשטח הנקבובי מספק ואקום מבוזר על פני כל הצד האחורי של הוופל, מבטל סימון קצה ומאפשר אחיזה עדינה של ופלים דקים במיוחד (≤100 מיקרון) או מעוותים. החומר מציע חוזק כיפוף של ≥250 MPa ויציבות תרמית עד 400°C באוויר.
-
לוחית פיזור גז אלומינה לראש מקלחת CVD/PVD
לוחית פיזור הגז (ראש המקלחת) של St.Cera מיוצרת בעיבוד מדויק מקרמיקה אלומינה 99.8% טהורה. היא כוללת מערך של חורים זעירים (בקטרים של 0.3-1.5 מ"מ) המבטיחים זרימת גז אחידה על פני השטח של פרוסת הפלטה במהלך תהליכי CVD, PVD או ALD. החוזק הדיאלקטרי הגבוה של הלוחית (>15×10⁶ V/m) ועמידות הפלזמה הופכים אותה לחיונית עבור שקיעת שכבה דקה של מוליכים למחצה.
-
פין תמיכה קרמי עבור גופי תהליך מוליכים למחצה
פיני התמיכה הקרמיים של St.Cera (הידועים גם כפיני הרמה או פיני תמיכה) משמשים בתאי תהליך של מוליכים למחצה כדי להרים פרוסות סיליקון או מצעים במהלך טיפול, חימום או קירור. פינים אלה, המיוצרים מ-99.8% אלומינה או סיליקון ניטריד, מציעים חוזק דחיסה גבוה, יציבות תרמית ועמידות כימית. עיצוב הקצה החצי-כדורי או השטוח מונע שריטות של פרוסות סיליקון.
