-
חלקי קרמיקה של טבעת קרמיקה מדויקת מאלומינה
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
צ'אקים קרמיים לציוד מוליכים למחצה בהתאמה אישית של ST.CERA
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
אפקטור קצה קרמי מסיליקון קרביד (SiC) - קשיחות גבוהה לטיפול בפרוסות בטמפרטורה גבוהה
אפקטור הקצה הקרמי SiC של St.Cera מיוצר מסיליקון קרביד טהור במיוחד (תכולת SiC 99.72%, Si חופשי 0.05%) באמצעות חומר S1111. הוא מציע תכונות מכניות יוצאות דופן: חוזק כיפוף 449 MPa (נמדד), מודול אלסטיות 457 GPa (נמדד), וקשיחות ויקרס 25-28 GPa (טיפוסית). הצפיפות הנמוכה (3.10-3.15 גרם/סמ"ק, טיפוסי) מספקת קשיחות ספציפית גבוהה, אידיאלית לרובוטים להעברת פרוסות פרוסות במהירות גבוהה. עם מוליכות תרמית של 120-150 W/m·K (טיפוסי) ומקדם התפשטות תרמית של 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (טיפוסי), אפקטור קצה זה מפזר חום ביעילות ושומר על יציבות ממדית במהלך טיפול בטמפרטורה גבוהה (עד 1600-1700°C, ללא עומס). הצבע השחור/אפור וספיגת מים אפסית מבטיחים תאימות לחדר נקי.
-
צ'אק ואקום מבוסס סיליקון קרביד (SiC) לסביבות טמפרטורה גבוהה ופלזמה
הצ'אק הקרמי מבוסס SiC של St.Cera מיוצר מסיליקון קרביד בעל טוהר גבוה (אצווה S1111, SiC 99.72%, Si חופשי 0.05%). הוא מספק חוזק כיפוף נמדד של 449 MPa, קשיחות שבר של 3.12 MPa·m¹/² ומודולוס אלסטיות של 457 GPa. המוליכות התרמית האופיינית של החומר (120–150 W/m·K) וההתפשטות התרמית הנמוכה (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) מאפשרים עלייה מהירה בטמפרטורה ועיוות מינימלי של פרוסות סיליקון במהלך מחזורי חימום. ניתן להגדיר את הצ'אק כצ'אק ואקום נקבובי (זרימת גז אחידה) או כצ'אק סטנדרטי מחורץ. עם טמפרטורת שימוש מקסימלית של 1600–1700°C (ללא עומס) ועמידות יוצאת דופן בפני שחיקת פלזמה, צ'אק זה אידיאלי לעיבוד פרוסות סיליקון בטמפרטורה גבוהה (חישול, RTP) ותאי איכול אגרסיביים שבהם צ'אקי אלומינה מתכלים.
-
חלקי חילוף קרמיים לציוד מוליכים למחצה, נשאים קרמיים
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
טבעת ליטוש קרמית מאלומינה עם גב מתכת עבור יישומי ליקוק בעלי קשיחות גבוהה
טבעת הטחינה מאלומינה מבוססת מתכת של St.Cera משלבת שכבת שחיקה קרמית מאלומינה בעלת טוהר גבוה (99.8% Al₂O₃) עם גיבוי מתכתי מעובד בדיוק רב (בדרך כלל אלומיניום או נירוסטה). עיצוב היברידי זה מספק עמידות יוצאת דופן בפני שחיקה ואדישות כימית של קרמיקה על משטח הטחינה, בעוד שבסיס המתכת מוסיף חוזק מכני, הרכבה קלה ועמידות בפני שבר שביר. שכבת האלומינה מציעה חוזק כיפוף של 361 מגה פסקל, קשיות ויקרס של 16 ג'יגה פסקל ויציבות תרמית עד 800 מעלות צלזיוס. בסיס המתכת מותאם אישית עם חורי הרכבה, פיני איתור או תכונות מגנטיות לשילוב במכונות ליקוק, מטחנות פלנטריות וציוד CMP.
-
חלקי חילוף קרמיים לציוד תחנת בדיקה של מוליכים למחצה
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
עיבוד מותאם אישית של צ'אק פרוסות קרמי Al2O3
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
לוח קרמי לציוד מוליכים למחצה מותאם אישית של ST.CERA
חלקי החילוף הקרמיים, שנוצרים על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטור בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדים ומלוטשים במדויק, יכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד. הקרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאי טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
צ'אק ואקום מאלומינה בגודל 12 אינץ' לעיבוד פרוסות 300 מ"מ
צ'אק הוואקום בגודל 12 אינץ' של St.Cera מיוצר במדויק מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה, המותאמת לטיפול בפרוסות 300 מ"מ. לצ'אק משטח חריץ דק (רוחב חריץ 0.5-1.0 מ"מ, פסיעה 2-3 מ"מ) כדי להבטיח פיזור ואקום אחיד על פני כל קוטר 300 מ"מ. השטיחות נשמרת בעובי של 5 מיקרון, מה שמאפשר קיבוע פרוסות ללא עיוותים במהלך חיתוך, טחינה אחורית ובדיקה. חוזק הכיפוף הגבוה של החומר (361 MPa) וקשיותו (16 GPa) מבטיחים יציבות ממדית ארוכת טווח גם תחת מחזורי ואקום חוזרים ונשנים.
-
אפקטור קצה קרמי מאלומינה עם ערוצי ואקום משולבים
אפקטור קצה הוואקום מאלומינה של St.Cera משלב תעלות ואקום מעובדות בדיוק רב וחורי יניקה ישירות לתוך גוף האלומינה בעל טוהר גבוה של 99.8%. עיצוב זה מבטל את הצורך בכריות ואקום חיצוניות, ומאפשר איסוף פרוסות ישיר עם כוח אחיזה אחיד. חוזק הכיפוף הגבוה של החומר (361 MPa) והקשיות (16 GPa) מבטיחים יציבות ממדית ארוכת טווח תחת מחזורי ואקום חוזרים ונשנים. השטיחות על פני שטח הכרית נשמרת בטווח של 10 מיקרון, ומונעת לחץ ושבירה של פרוסות. פתחי ואקום ממוקמים באוגן ההרכבה האחורי לשילוב קל עם זרועות רובוט של יצרן הציוד המקורי (OEM).
-
חלקי קרמיקה מאלומינה בטוחים בפני ESD לטיפול בפרוסות רגישות לחשמל סטטי
חלקי הקרמיקה מאלומינה הבטוחים בפני ESD (פריקה אלקטרוסטטית) של St.Cera מיוצרים מ-99.8% Al₂O₃ בטוהר גבוה עם התנגדות פני שטח מותאמת אישית של 10⁶–10⁹ Ω/מ"ר, המושגת באמצעות תהליך סימום או ציפוי קנייני. חלקים אלה מפזרים ביעילות מטען סטטי, ומונעים נזק אלקטרוסטטי לפלסטיק ולמכשירים רגישים של מוליכים למחצה. חומר הבסיס שומר על חוזק הכיפוף הגבוה שלו (361 MPa), קשיות (16 GPa) וחוזק דיאלקטרי (15×10⁶ V/m). חלקים קרמיים הבטוחים בפני ESD כוללים אפקטורים קצה, פיני הרמה, מסילות הנחיה ומתקנים מותאמים אישית לאוטומציה של FAB.
