צ'אק ואקום מאלומינה בגודל 12 אינץ' לעיבוד פרוסות 300 מ"מ
צ'אק הוואקום בגודל 12 אינץ' של St.Cera מיוצר במדויק מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה, המותאמת לטיפול בפרוסות 300 מ"מ. לצ'אק משטח חריץ דק (רוחב חריץ 0.5-1.0 מ"מ, פסיעה 2-3 מ"מ) כדי להבטיח פיזור ואקום אחיד על פני כל קוטר 300 מ"מ. השטיחות נשמרת בעובי של 5 מיקרון, מה שמאפשר קיבוע פרוסות ללא עיוותים במהלך חיתוך, טחינה אחורית ובדיקה. חוזק הכיפוף הגבוה של החומר (361 MPa) וקשיותו (16 GPa) מבטיחים יציבות ממדית ארוכת טווח גם תחת מחזורי ואקום חוזרים ונשנים.
מפרט טכני (מבוסס על 99.8% Al₂O₃):
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| קוֹטֶר | 300 מ"מ (12 אינץ') |
| חוֹמֶר | 99.8% אלומינה (שנהב) |
| צְפִיפוּת | 3.93 גרם/סמ"ק |
| חוזק כיפוף | 361 מגה פסקל |
| קשיות ויקרס | 16 GPA |
| שטוחות (מעל 300 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר |
| רוחב החריץ | 0.5–1.0 מ"מ |
| טמפרטורת הפעלה מקסימלית | 800 מעלות צלזיוס |
| חוזק דיאלקטרי | 15×10⁶ וולט/מטר |
יישומים:
חיתוך וחריטה של פרוסות 300 מ"מ
טחינת גב פרוסות (תמיכה בפרוסות דקות)
בדיקה ובדיקה אופטית
צ'אקים זמניים להדבקה/ניתוק קשרים
ייצור:
ליטוש CNC וחיטוב עד לשטיחות סופית, חריצים בגלגלי יהלום, ניקוי באולטרסאונד וארוזים בחדר נקי Class 100. כל צ'אק עובר בדיקה של 100% לשטיחות (אינטרפרומטר לייזר) ועומק חריץ (פרופילומטר).
יתרונות:
יצירת חלקיקים נמוכה (≤0.05 חלקיקים/סמ"ר)
אינרטי מבחינה כימית לממסים וחומצות
משטח עמיד בפני ESD (התנגדות >10¹³ Ω·cm)
דוגמאות חורי ואקום מותאמות אישית ופתחים אחוריים זמינים.
