טבעת קרמית אלומינה טהורה במיוחד לתאי תהליך CVD/PVD
טבעת הקרמיקה של St.Cera תוכננה במיוחד לשימוש בתאי תהליך CVD (Chemical Vapor Deposition) ו-PVD (Physical Vapor Deposition). הטבעת, המיוצרת מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה, משמשת כבטנה של התא, טבעת מיקוד או רכיב ערכת תהליך כדי לכלול את הפלזמה ולהגן על דפנות התא מפני שחיקה. החומר מציע עמידות מצוינת לפלזמה, חוזק דיאלקטרי גבוה (15×10⁶ V/m) ויציבות תרמית עד 1600°C, מה שמבטיח חיי שירות ארוכים בסביבות פלזמה אגרסיביות מבוססות פלואור. סבולות מידות מדויקות (±0.05 מ"מ בקוטר פנימי/קוטר חיצוני) ושטיחות (≤10 מיקרומטר) מאפשרות מיקום עקבי של קצה פרוסת הוופל, משפרות את אחידות השיקוע ומפחיתות את יצירת החלקיקים.
מפרט (מבוסס על 99.8% Al₂O₃):
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| חוֹמֶר | 99.8% אלומינה (שנהב) |
| צְפִיפוּת | 3.93 גרם/סמ"ק |
| ספיגת מים | 0% |
| חוזק כיפוף | 361 מגה פסקל |
| קשיחות שבר | 3–4 מגה-פיקסל·מ"ר/² |
| קשיות ויקרס | 16 GPA |
| מודול יאנג | 380 GPA |
| מוליכות תרמית | 32 וואט/מ״ק |
| התפשטות תרמית (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| חוזק דיאלקטרי | 15×10⁶ וולט/מטר |
| התנגדות ספציפית | >10¹⁴ Ω·cm |
| טמפרטורת הפעלה מקסימלית | 1600 מעלות צלזיוס |
יישומים:
- טבעות מיקוד וטבעות קצה של תא CVD
- טבעות מגן וטבעות הידוק לתא PVD
- · לחרוט את ריפודי התא וטבעות הכיסוי
- טבעות כליאה פלזמה במערכות איכול דיאלקטריות
תהליך ייצור:
כבישה איזוסטטית → עיבוד שבבי ירוק → סינטור ב-1600°C → טחינת ID/OD באמצעות CNC → ליפת פני השטח → ניקוי אולטרסאונד → בדיקת CMM של 100%. גימור משטח חלק במיוחד (Ra ≤0.4 מיקרון) ממזער את הידבקות החלקיקים.
בקרת איכות:
- · בדיקת מידות של 100% (קוטר פנימי, קוטר חיצוני, עובי, שטוחות)
- · בדיקת חדירת צבע לאיתור סדקים זעירים על פני השטח
- · בדיקת חוזק דיאלקטרי לפי ASTM D149
- · אין שינוי צבע או נקבוביות גלויים תחת מיקרוסקופ 20×
יתרונות על פני טבעות מתכת או קוורץ:
- אורך חיים ארוך פי 5-10 בהשוואה לטבעות אלומיניום בפלזמה של פלואור
- · אין זיהום מתכתי בשכבות דקות
- עמידות גבוהה יותר לפלזמה מאשר קוורץ (ללא בורות שחיקה)
- שומר על בידוד חשמלי של >10¹⁴ Ω·cm גם לאחר שימוש ממושך
חומר חלופי - סיליקון ניטריד (Si₃N₄):
עבור יישומים הדורשים קשיחות שבר גבוהה אף יותר (6.2 MPa·m¹/²) ועמידות טובה יותר בפני הלם תרמי (מקדם התפשטות 3.2×10⁻⁶/℃), זמינות טבעות Si₃N₄. עם זאת, אלומינה היא חסכונית יותר עבור רוב יישומי CVD/PVD. אנא ציינו את העדפת החומר בעת ההזמנה.
התאמה אישית:
- · חורים עוברים, פרופילים מדורגים או קדח קדמי להרכבה
- · משטח מצופה Y₂O₃ לעמידות משופרת לפלזמה (אופציונלי)
- · חריטה בלייזר של מספר חלק / קוד אצווה
פֶּתֶק:הנתונים הנ"ל עוקבים בקפדנות אחר טבלת התכונות של Al₂O₃ המצורפת. עבור טבעות Si₃N₄, עיינו בגיליון הנתונים הנפרד של Si₃N₄ המצורף.
