צ'אק ואקום מבוסס סיליקון קרביד (SiC) לסביבות טמפרטורה גבוהה ופלזמה
הצ'אק הקרמי מבוסס SiC של St.Cera מיוצר מסיליקון קרביד בעל טוהר גבוה (אצווה S1111, SiC 99.72%, Si חופשי 0.05%). הוא מספק חוזק כיפוף נמדד של 449 MPa, קשיחות שבר של 3.12 MPa·m¹/² ומודולוס אלסטיות של 457 GPa. המוליכות התרמית האופיינית של החומר (120–150 W/m·K) וההתפשטות התרמית הנמוכה (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) מאפשרים עלייה מהירה בטמפרטורה ועיוות מינימלי של פרוסות סיליקון במהלך מחזורי חימום. ניתן להגדיר את הצ'אק כצ'אק ואקום נקבובי (זרימת גז אחידה) או כצ'אק סטנדרטי מחורץ. עם טמפרטורת שימוש מקסימלית של 1600–1700°C (ללא עומס) ועמידות יוצאת דופן בפני שחיקת פלזמה, צ'אק זה אידיאלי לעיבוד פרוסות סיליקון בטמפרטורה גבוהה (חישול, RTP) ותאי איכול אגרסיביים שבהם צ'אקי אלומינה מתכלים.
מפרט טכני(מבוסס על דוח בדיקה של SiC S1111 שסופק וערכים אופייניים)):
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| חוֹמֶר | SiC (99.72% SiC, 0.05% סיליקון חופשי) |
| צְפִיפוּת | 3.10–3.15 גרם/סמ"ק |
| ספיגת מים | 0% |
| חוזק כיפוף | 449 מגה פסקל |
| קשיחות שבר | 3.12 מגה-פיקסל·מ"ר/² |
| מודול אלסטיות | 457 GPA |
| קשיות ויקרס | ממוצע ציונים של 25–28 |
| מוליכות תרמית | 120–150 וואט/מטר קלווין |
| טמפרטורה מקסימלית (CTE) (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| טמפרטורת שימוש מקסימלית (ללא עומס) | 1600–1700 מעלות צלזיוס |
| שטוחות (מעל 300 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר |
| גימור פני השטח | Ra ≤0.4 מיקרומטר (מחופף) |
יישומים:
● צ'אקינג בטמפרטורה גבוהה (חישול, RTP, גידול אפיטקסיאלי)
● צ'אק איכול פלזמה עם עמידות גבוהה לפלואור
● טיפול בפרוסות דקות עם חימום/קירור אחידים
● צ'אק נקבובי לתמיכה בופלים ללא מגע
ייצור:
סינטור SiC → ליטוש מדויק של שטוחות ופרופיל פני השטח → יצירת מבנה נקבובי אופציונלית (לצ'אק ואקום) → ליטופים → ניקוי אולטרסאונד. כל צ'אק נבדק ב-100% לשטיחות (אינטרפרומטר לייזר) ואחידות ואקום (בדיקת זרימה).
בקרת איכות:
● בדיקת מידות CMM (קוטר, עובי, מיקומי חורים)
● מדידת שטוחות לפי ASTM
● בדיקת דליפת הליום (עבור צ'אקים ואקום)
● אימות חוזק כיפוף לכל אצווה (ראו דוח בדיקה)
יתרונות על פני צ'אקים מאלומינה:
● מוליכות תרמית גבוהה יותר (120–150 לעומת 32 W/m·K עבור אלומינה) – העברת חום מהירה פי 4
● CTE נמוך יותר (4.0 לעומת 7.2×10⁻⁶/℃) – מפחית את הלחץ התרמי של פרוסות הוואטר
● עמידות מעולה לפלזמה – אורך חיים ארוך פי 10 באיכול פלואור
● טמפרטורת שימוש מקסימלית גבוהה יותר (1600°C לעומת 800°C עבור אלומינה)
התאמה אישית:
● משטח נקבובי או מחורץ
● קוטר 100–450 מ"מ, עגול או מרובע
● טבעת איטום קצה או מחיצות ואקום אזוריות
● אפשרות לגיבוי מתכתי להרכבה בעלת קשיחות גבוהה
כל הנתונים המכניים לעיל מגיעים מדוח הבדיקה שסופק (אצווה S1111). ערכי התרמיה והקשיות אופייניים לדרגת SiC זו. צ'אקים נקבוביים של SiC דורשים עיבוד נוסף; אנא פנו אלינו לגבי נקבוביות ספציפית וזמינות גודל נקבוביות.
