אפקטור קצה קרמי מצופה טפלון - משטח שאינו דביק לטיפול רגיש בוופלים
אפקטור הקצה הקרמי המצופה טפלון (PTFE) של St.Cera משלב מצע אלומינה בעל חוזק גבוה עם ציפוי PTFE אחיד בעל חיכוך נמוך (עובי 15-30 מיקרומטר). הציפוי מספק מקדם חיכוך נמוך במיוחד (≤0.1), עמידות כימית מעולה ותכונות שאינן נדבקות, המונעות הידבקות פרוסות ומיגור זיהום בצד האחורי. המצע הקרמי הבסיסי (99.8% Al₂O₃) מציע חוזק כיפוף גבוה (361-1000 MPa), עמידות בפני שחיקה ויציבות תרמית עד 260°C (מגבלת הציפוי). אפקטור קצה זה אידיאלי לטיפול בפרוסות ופלים עדינות, דקות או דביקות (למשל, לאחר ציפוי פוטורזיסט או תהליכים כימיים).
מפרט טכני (מבוסס על מצע Al₂O₃ של 99.8% עם ציפוי PTFE):
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| חומר מצע | 99.8% אלומינה (שנהב) |
| חומר ציפוי | PTFE (טפלון) |
| עובי ציפוי | 15–30 מיקרומטר |
| מקדם חיכוך (מצופה) | ≤0.1 |
| חוזק כיפוף של המצע (Al₂O₃) | 361 מגה פסקל |
| קשיות המצע (Al₂O₃) | 16 GPA |
| צפיפות המצע | 3.93 גרם/סמ"ק |
| טמפרטורת הפעלה מקסימלית (מגבלת ציפוי) | 260 מעלות צלזיוס |
| חספוס פני השטח (לפני ציפוי) | רא ≤0.4 מיקרומטר |
| חוזק דיאלקטרי (מצע) | 15×10⁶ וולט/מטר |
הערה: ציפוי PTFE מגביל את הטמפרטורה המקסימלית ל-260 מעלות צלזיוס; עבור יישומים בטמפרטורות גבוהות יותר, יש לשקול ציפויים קרמיים ללא ציפוי או ציפויים אחרים.
יישומים:
- טיפול בוופלים לאחר ציפוי פוטורזיסט (משטחים דביקים)
- · העברת פרוסות דקות או שבירות (מונעת הידבקות)
- כלי בדיקה ומטרולוגיה של מוליכים למחצה
- אוטומציה של חדרי נקיון שבה יש למזער את זיהום החלקיקים
תהליך ייצור:
מצע קרמי מסונטר ומושחז במדויק → חיספוס פני השטח (איכול פלזמה או התזת גריט) → ציפוי בהתזה PTFE → ריפוי בחום ב-380 מעלות צלזיוס → בדיקה סופית. כל אפקטור קצה נבדק לעובי הציפוי (זרם מערבולת), הידבקות (מבחן חיתוך צולב ASTM D3359) ומקדם החיכוך.
בקרת איכות:
בדיקה ויזואלית של 100% לאיתור חורים או בועות; אחידות עובי הציפוי בטווח של ±5 מיקרון; ללא דה-למינציה לאחר בדיקת כיפוף של 90° על גבי קופון הראייה. בדיקת מידות לפי סבילות יצרן הציוד המקורי (אורך ±0.05 מ"מ, שטוחות ≤0.1 מ"מ).
יתרונות על פני ציפויים ללא ציפוי או ציפויים אחרים:
- · משטח שאינו נדבק מונע הידבקות ושבירה של פרוסות
- מקדם החיכוך הנמוך ביותר מבין ציפויים קרמיים
- עמידות מעולה לכימיקלים (חומצות, בסיסים, ממסים)
- · מפחית יצירת חלקיקים על ידי מניעת העברת חומר
מגבלות (הערות על סטייה מהותית):
ציפוי ה-PTFE אינו נגזר מטבלאות תכונות החומר המצורפות (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). תכונות המצע עוקבות בקפדנות אחר גיליון הנתונים המצורף (99.8% Al₂O₃). תכונות הציפוי מבוססות על מפרטי PTFE סטנדרטיים בתעשייה, מכיוון שלא סופקו נתוני ציפוי. עבור יישומים העולים על 260°C, מומלץ להשתמש באפקט קצה קרמי ללא ציפוי.*
התאמה אישית:
זמין באורכים 150-1500 מ"מ, צורות קצה (אחיזה בקצה, ברנולי, שטוח), דוגמאות אוגן הרכבה לפי שרטוט יצרן הציוד המקורי (OEM). ציפוי חלקי (רק אזורי מגע) או כיסוי מלא אופציונלי.
בקשו דוגמית לבדיקת הידבקות וחיכוך.
