אפקטור קצה קרמי מסיליקון קרביד (SiC) - קשיחות גבוהה לטיפול בפרוסות בטמפרטורה גבוהה
אפקטור הקצה הקרמי SiC של St.Cera מיוצר מסיליקון קרביד טהור במיוחד (תכולת SiC 99.72%, Si חופשי 0.05%) באמצעות חומר S1111. הוא מציע תכונות מכניות יוצאות דופן: חוזק כיפוף 449 MPa (נמדד), מודול אלסטיות 457 GPa (נמדד), וקשיחות ויקרס 25-28 GPa (טיפוסית). הצפיפות הנמוכה (3.10-3.15 גרם/סמ"ק, טיפוסי) מספקת קשיחות ספציפית גבוהה, אידיאלית לרובוטים להעברת פרוסות פרוסות במהירות גבוהה. עם מוליכות תרמית של 120-150 W/m·K (טיפוסי) ומקדם התפשטות תרמית של 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (טיפוסי), אפקטור קצה זה מפזר חום ביעילות ושומר על יציבות ממדית במהלך טיפול בטמפרטורה גבוהה (עד 1600-1700°C, ללא עומס). הצבע השחור/אפור וספיגת מים אפסית מבטיחים תאימות לחדר נקי.
מפרט טכני(מבוסס על דוח בדיקה של SiC S1111 שסופק וערכים אופייניים)):
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| חוֹמֶר | SiC (99.72% SiC, 0.05% סיליקון חופשי) |
| צֶבַע | שחור/אפור |
| צְפִיפוּת | 3.10–3.15 גרם/סמ"ק |
| ספיגת מים | 0% |
| חוזק כיפוף | 449 מגה פסקל (ממוצע) |
| קשיחות שבר | 3.12 מגה-פיקסל·מ"ר/² (ממוצע) |
| מודול אלסטיות | 457 GPA |
| קשיות ויקרס | ממוצע ציונים של 25–28 |
| מוליכות תרמית (25°C) | 120–150 וואט/מטר קלווין |
| טמפרטורה מקסימלית (CTE) (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| טמפרטורת שימוש מקסימלית (ללא עומס) | 1600–1700 מעלות צלזיוס |
יישומים:
● טיפול בפרוסות ופלים בטמפרטורה גבוהה (לאחר חישול, RTP, אפיטקסיה)
● תאי איכול פלזמה הדורשים עמידות גבוהה בפני שחיקה
● רובוטי העברה במהירות גבוהה (משקל קל, קשיחות גבוהה)
ייצור:
סינטור אבקת SiC → שיוף CNC מדויק של פרופיל הזרוע ומאפייני הרכבה → ליטופ משטח → ניקוי אולטרסאונד. בדיקה ממדית של 100% ובדיקת דליפת הליום עבור יישומי ואקום.
בקרת איכות:
● בדיקת אורך, רוחב ושטיחות באמצעות CMM
● בדיקת חוזק כיפוף לכל אצווה (לפי תקן דוח הבדיקה)
● בדיקה ויזואלית תחת מיקרוסקופ לאיתור פגמים במשטח
יתרונות על פני אלומינה או מתכת:
● מודול אלסטיות גבוה פי 2 (457 לעומת ~380 GPa עבור אלומינה) – פחות סטייה
● מוליכות תרמית גבוהה פי 3 – פיזור חום מהיר יותר
● עמידות בפני >1600°C לעומת 800°C של אלומינה באוויר
● צפיפות נמוכה יותר מפלדה – הפחתת משקל של 40%
התאמה אישית:
אורכים 150–450 מ"מ, צורות קצה (אחיזה בקצה, ברנולי, שטוח), דפוסי אוגן הרכבה לפי שרטוט של יצרן הציוד המקורי.
*כל הנתונים המכניים לעיל מגיעים מדוח הבדיקה שסופק (אצווה S1111). ערכי התרמיות והקשיות אופייניים לדרגת SiC זו; אנא צרו קשר לקבלת אישור ספציפי לאצווה.*
