טבעת מיקוד תא אלומינה טהורה במיוחד עבור מערכות איכול פלזמה ו-CVD

טבעת המיקוד לתא של St.Cera היא רכיב קריטי בערכת תהליך המשמש בציוד לחריטת פלזמה, CVD ו-PVD למחצה. הטבעת, המיוצרת מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה, מקיפה את קצה הוופל כדי להגביל את הפלזמה ולמטב את פיזור הזווית של היונים, ובכך לשפר את אחידות החריטה על פני הוופל. החומר מציע עמידות יוצאת דופן לפלזמה, חוזק דיאלקטרי גבוה (15×10⁶ V/m) ויציבות תרמית עד 1600°C, מה שמבטיח אמינות לטווח ארוך בסביבות פלזמה אגרסיביות מבוססות פלואור או כלור. מזהה/חיצוני חיצוני (ID/OD) וטמפרטורת שיחוס מדויקת ושטיחות (≤10 מיקרומטר) מאפשרים מיקום מדויק של קצה הוופל, תוך הפחתת פגמי קצה ויצירת חלקיקים.

מפרט טכני(מבוסס על 99.8% אלומיניום)₂O₃):

יישומים:

• טבעות מיקוד לתא איכול דיאלקטרי (איכול תחמוצת, ניטריד)
• טבעות קצה תא איכול סיליקון
• · טבעות ערכת תהליך תא CVD
• · מגן תא PVD וטבעות הידוק

תהליך ייצור:

אבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה עוברת כבישה איזוסטטית → עיבוד ירוק לצורה כמעט סופית → סינטור ב-1600 מעלות צלזיוס → טחינת יהלום CNC של פנימית (ID), חיצונית (OD) ועובי → ליטופים להשגת שטוחות ≤10 מיקרון → ניקוי אולטרסאונד → בדיקת CMM של 100%. גימור פני השטח Ra ≤0.4 מיקרון ממזער את הידבקות החלקיקים.

בקרת איכות:

• · בדיקה ממדית של 100% (קוטר פנימי, קוטר חיצוני, עובי, מקבילות)
• · בדיקת חדירת צבע לאיתור סדקים זעירים (אסור להיווצר סדקים)
• · בדיקה ויזואלית תחת מיקרוסקופ 20× - ללא סדקים, חללים או שינוי צבע
• · בדיקת חוזק דיאלקטרי לפי ASTM D149 (דגימה)

יתרונות על פני טבעות פוקוס מסיליקון או קוורץ:

• · אורך חיים ארוך יותר פי 5-10 בפלזמה פלואורו-פחמנית
• · אין חלקיקי שחיקה מתכלים שיכולים לזהם פרוסות סיליקון
• חוזק דיאלקטרי גבוה יותר מונע היווצרות קשתות
• שומר על שטוחות ודיוק ממדי לאורך אלפי שעות RF

חומר חלופי - זירקוניה מיוצבת על ידי איטריה (ZrO₂):

עבור יישומים הדורשים קשיחות שבר גבוהה יותר (למשל, תאים עם מחזורי תרמית תכופים או הלם מכני), זמינות טבעות מיקוד ZrO₂ (צפיפות 6.03 גרם/סמ"ק, חוזק כיפוף 1000 מגה פסקל, קשיחות שבר 5-8 מגה פסקל·מ"ק/²). עם זאת, אלומינה מציעה יעילות כלכלית טובה יותר והיא הסטנדרט בתעשייה עבור רוב יישומי טבעות המיקוד.

התאמה אישית:

• · פרופילי מדרגות, קדחים או חורי הרכבה לפי שרטוט הלקוח
• ציפוי Y₂O₃ לעמידות משופרת בפני שחיקה בפלזמה (עובי 20–100 מיקרומטר)
• · סימון לייזר של מספר חלק, קוד תאריך או סימני יישור

פֶּתֶק:כל הנתונים פועלים בהתאם לטבלת המאפיינים של Al₂O₃ המצורפת. למפרטי ZrO₂, עיינו בגיליון הנתונים של זירקוניה המצורף. עיצובים של טבעות מיקוד עשויים לדרוש אישור פטנט - הלקוחות אחראים לאימות זכויות קניין רוחני.