טבעת איטום קרמית מאלומינה טהורה במיוחד לאיטום תא בטמפרטורה גבוהה
טבעת האטם הקרמית של St.Cera מתוכננת כחלופה לטבעות O מפולימר בסביבות קיצוניות בהן אלסטומרים מתכלים. טבעת האטם הקשיחה הזו, המיוצרת מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה, משמשת ביישומי איטום סטטיים - בדרך כלל בשילוב עם אטם מתכת רך או גרפיט - כדי לספק בלימת ואקום או גז אמינה בטמפרטורות של עד 800 מעלות צלזיוס ובסביבות פלזמה או כימיות אגרסיביות. החומר מציע אפס פליטת גזים, חוזק דחיסה גבוה (חוזק כיפוף בסיסי 361 MPa), ואדישות כימית (עמיד בפני הלוגנים, חומצות ואלקליות למעט HF). משטחי איטום בעלי ליטוש מדויק (שטוחות ≤5 מיקרון, חספוס פני השטח Ra ≤0.2 מיקרון) מבטיחים מגע אטום לדליפות עם רכיבי מתכת או קרמיקה מתחברים.
מפרט טכני(מבוסס על 99.8% אלומיניום)₂O₃):
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| חוֹמֶר | 99.8% אלומינה (שנהב) |
| צְפִיפוּת | 3.93 גרם/סמ"ק |
| ספיגת מים | 0% |
| חוזק כיפוף | 361 מגה פסקל |
| חוזק דחיסה (משוער) | >2000 מגה פסקל |
| קשיות ויקרס | 16 GPA |
| התפשטות תרמית (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| טמפרטורת הפעלה מקסימלית | 800°C (אוויר), 1600°C (אינרטי) |
| גימור פני השטח (פני איטום) | Ra ≤0.2 מיקרומטר (מחופף) |
| שטוחות (לכל 25 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר |
| קצב דליפת הליום | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (עם אטם מתאים) |
יישומים:
- אטמים סטטיים לתאי תהליך של מוליכים למחצה (CVD, PVD, איכול)
- אטמי דלתות תנור עמידים בטמפרטורה גבוהה
- אוגני הזנת ואקום
- סגירת כלי כור כימי
תהליך ייצור:
כבישה איזוסטטית → סינטור ב-1600 מעלות צלזיוס → ליטופ דו-צדדי מדויק להשגת משטחי איטום שטוחים וחלקים במיוחד → שיפוע קצה → ניקוי אולטרסאונד. כל טבעת נבדקה לדליפות ב-100% בגלאי דליפות הליום עם אטם מתכת סטנדרטי.
בקרת איכות:
- · בדיקת ממד CMM (קו פנימי, קו חיצוני, עובי, מקבילות)
- · פרופילומטר פני השטח לבדיקת רא וגליות
- מדידת שטוחות באמצעות אופטיקה שטוחה
- · בדיקת דליפת הליום (שיטת לחץ אחורי)
יתרונות על פני טבעות O מפולימר:
- · עמיד ב-800°C לעומת <300°C עבור FFKM
- אפס פליטת גזים - אין זיהום של סביבת הוואקום
- עמיד לכל סוגי הפלזמה (פלואור, כלור, חמצן)
- · אין דחיסה או עיוות קבוע
- · חיי שירות בלתי מוגבלים בסביבות נקיות
מגבלות (הערות קריטיות):
- · לא טבעת O— זוהי טבעת קרמית קשיחה הדורשת אטם רך (נחושת, אלומיניום או גרפיט) כדי לאטום.
- · אינו מתאים לתנועה דינמית או לחוסר יישור גדול של האוגן.
- · עלות התחלתית גבוהה יותר מאשר טבעות O מפולימר, אך אורך חיים ארוך יותר מפחית את עלות הבעלות.
- · שביר - יש לטפל בזהירות; יש להימנע ממכות נקודתיות או ממאמץ כיפוף.
פֶּתֶק:הנתונים לעיל עוקבים בקפדנות אחר טבלת המאפיינים של Al₂O₃ שסופקה. לא סופקו נתונים עבור חומרים אלסטומריים. מוצר זה הוא טבעת אטימה סטטית, לא טבעת O אלסטומרי. אנא אשרו האם היא עומדת בדרישות היישום שלכם.
