לוחית פיזור גז אלומינה לראש מקלחת CVD/PVD
לוחית פיזור הגז (ראש המקלחת) של St.Cera מיוצרת בעיבוד מדויק מקרמיקה אלומינה 99.8% טהורה. היא כוללת מערך של חורים זעירים (בקטרים של 0.3-1.5 מ"מ) המבטיחים זרימת גז אחידה על פני השטח של פרוסת הפלטה במהלך תהליכי CVD, PVD או ALD. החוזק הדיאלקטרי הגבוה של הלוחית (>15×10⁶ V/m) ועמידות הפלזמה הופכים אותה לחיונית עבור שקיעת שכבה דקה של מוליכים למחצה.
מפרט טכני:
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| חוֹמֶר | 99.8% Al₂O₃ או SiC |
| קוֹטֶר | 100 – 1500 מ"מ (עגול) או מלבני |
| עוֹבִי | 5 – 20 מ"מ |
| קוטר החור | 0.3 – 1.5 מ"מ |
| תבנית חורים | מותאם אישית (משולש, מרובע, רדיאלי) |
| שְׁטִיחוּת | ≤10 מיקרומטר על פני שטח מלא |
| חספוס פני השטח | Ra ≤0.6 מיקרומטר (צד הגז) |
| יחס שטח פתוח | 5–15% |
יישומים:
צלחות ראש מקלחת PECVD
מזרקי גז ALD
לוחות חלוקת גז לתא חריטה
רכיבי כור MOCVD
ייצור:
מצע אלומינה שטוח וחיפוי → קידוח CNC עם כלים מצופים יהלום (סבולת מיקום חור ±0.02 מ"מ) → הסרת שבבים → ניקוי אולטרסאונד → אריזה Class 100.
בקרת איכות:
כל פלטה נבדקת ב-100% מבחינת גודל החור (מערכת ראייה), שטוחות (אינטרפרומטר לייזר) ואחידות זרימת הגז (מיפוי לחץ). ללא סדקים זעירים תחת מיקרוסקופ פי 20.
יתרונות על פני לוחות מתכת:
אין זיהום מתכתי בשכבות דקות
ייצור חלקיקים נמוך יותר (ללא פתיתי קורוזיה)
עמיד בפני פלזמות ניקוי אגרסיביות (CF₄, NF₃)
תכונות מותאמות אישית:
תעלות גז אחוריות, חורים קדוחים, אטמי קצה ודרגות חומר שונות (SiC למוליכות תרמית גבוהה יותר, ציפוי Y₂O₃ לעמידות בפלזמה).
אנו מספקים אימות CAD וסימולציית זרימה לפני הייצור.
