פין תמיכה קרמי עבור גופי תהליך מוליכים למחצה
פיני התמיכה הקרמיים של St.Cera (הידועים גם כפיני הרמה או פיני תמיכה) משמשים בתאי תהליך של מוליכים למחצה כדי להרים פרוסות סיליקון או מצעים במהלך טיפול, חימום או קירור. פינים אלה, המיוצרים מ-99.8% אלומינה או סיליקון ניטריד, מציעים חוזק דחיסה גבוה, יציבות תרמית ועמידות כימית. עיצוב הקצה החצי-כדורי או השטוח מונע שריטות של פרוסות סיליקון.
מפרט טכני(אלומינה 99.8%):
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| חוֹמֶר | 99.8% Al₂O₃ או Si₃N₄ |
| מֶשֶׁך | 10 – 100 מ"מ |
| קוֹטֶר | 1 – 10 מ"מ |
| צורת קצה | שטוח, חצי כדורי, מחודד |
| חוזק דחיסה (Al₂O₃) | >2000 מגה פסקל |
| טמפרטורת פעולה מקסימלית (Al₂O₃) | 1600 מעלות צלזיוס |
| גימור פני השטח | חופף (Ra ≤0.4 מיקרומטר) |
| סובלנות על קוטר | ±0.01 מ"מ |
יישומים:
פיני הרמה בתאי CVD/PVD
פיני תמיכה לאפייה על פלטת חום
מבני תמיכה בכרטיסי בדיקה
תומכי סירות תנור קוורץ
ייצור:
השחזה מדויקת ללא סנטר של OD → השחזה עם יהלום של פרופיל קצה → ניקוי אולטרסאונד → בדיקה ממדית של 100%.
בקרת איכות:
CMM לאורך/קוטר, משוואה אופטית לרדיוס קצה, בדיקת עומס לאימות חוזק דחיסה (דגימה אקראית לכל אצווה). ללא זיהום פרומגנטי (אומת באמצעות מגנט).
יתרונות על פני סיכות מתכת או קוורץ:
אורך חיים ארוך פי 5 מפלדת אל-חלד
אין זיהום מתכתי בתא התהליך
יכולת עמידות בטמפרטורה גבוהה יותר מקוורץ (1600°C לעומת 1100°C)
משטח שאינו נדבק (הידבקות מופחתת של חלקיקים)
התאמה אישית:
פרופילי קצה מרובים, בסיס הברגה או ציר מחודד.
אנו מספקים גם פיני SiC לסביבות פלזמה קיצוניות.
