-
ציוד מוליכים למחצה מותאם אישית של ST.CERA צ'אקים קרמיים
התהליך הקריטי של תחום המוליכים למחצה דורש ביצוע בחדר נקי, במיוחד עבור התקנים שיש להשתמש בהם בתנאים של טמפרטורה גבוהה, ואקום וגז קורוזיבי. קרמיקה יכולה לשמור על יציבות גבוהה בסביבה פיזיקלית וכימית מורכבת.
-
ציוד מוליכים למחצה מותאם אישית של ST.CERA לוח קרמי
התהליך הקריטי של תחום המוליכים למחצה דורש ביצוע בחדרים נקיים, במיוחד עבור התקנים שיש להשתמש בהם בתנאים של טמפרטורה גבוהה, ואקום וגז קורוזיבי. קרמיקה יכולה לשמור על יציבות גבוהה בסביבה פיזיקלית וכימית מורכבת.
-
טבעת מיקוד קרמית מוליך למחצה מותאמת אישית של ST.CERA
התהליך הקריטי של תחום המוליכים למחצה דורש ביצוע בחדר נקי, במיוחד עבור התקנים שיש להשתמש בהם בתנאים של טמפרטורה גבוהה, ואקום וגז קורוזיבי. קרמיקה יכולה לשמור על יציבות גבוהה בסביבה פיזיקלית וכימית מורכבת.
-
זרוע טוען קרמיקה מאלומינה 99.5% מותאמת אישית של ST.CERA
זרוע טיפול/אפקט קצה קרמי מותקנת על רובוט לטיפול בפרוסות סיליקון או "אפקטורים" ומשמשת לנשיאת פרוסות סיליקון לתוך או מחוץ לקסטות או לתאי תהליך.
היתרונות של שימוש בקרמיקה הם הפחתת סטייה עקב חוזק כיפוף גבוה, עמידות לטמפרטורות גבוהות וסילוק זיהום וחלקיקי מתכת. -
אפקטור קצה קרמי מאלומינה מותאם אישית של ST.CERA
ST.CERA מציעה ציפוי ESD וחומר קרמי ESD. אפקט קצה עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
טבעת מיקוד קרמית מוליכים למחצה מותאמת אישית של ST.CERA
חלקי החילוף הקרמיים עשויים מקרמיקה אלומינה בעלת טוהר גבוה (מעל 99.5%), שנוצרה על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטורה בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדת ומלוטשת במדויק, ויכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד.
עם תכונות של עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, עמידות בפני שחיקה ובידוד, קרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאים של טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
תותב קרמי אלומינה מדויק למחצה מותאם אישית של ST.CERA
חלקי החילוף הקרמיים עשויים מקרמיקה אלומינה בעלת טוהר גבוה (מעל 99.5%), שנוצרה על ידי כבישה איזוסטטית קרה וסינטורה בטמפרטורה גבוהה, לאחר מכן מעובדת ומלוטשת במדויק, ויכולים לעמוד בכל הדרישות המחמירות של ציוד מוליכים למחצה בזכות תכונותיהם של עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות תרמית נמוכה ובידוד.
עם תכונות של עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, עמידות בפני שחיקה ובידוד, קרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאים של טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
אפקטור קצה ואקום קרמי מאלומינה מותאם אישית של ST.CERA
זהו מפעיל קצה / זרוע טיפול קרמית מסוג מגש המשמשת בתנאי ואקום.
זרוע הקצה/הטיפול הקרמית "עמידה יותר בחום", "פחות סטייה" ו"קלה יותר" במשקל בהשוואה לזרועות המתכת.
עם תכונות של עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, עמידות בפני שחיקה ובידוד, קרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאים של טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
צינורות קרמיקה ומוטות קרמיים מאלומינה 99.5% מותאמים אישית של ST.CERA
עם תכונות של עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, עמידות בפני שחיקה ובידוד, קרמיקה יכולה לעבוד בסוגים רבים של ציוד ייצור מוליכים למחצה בתנאים של טמפרטורה גבוהה, ואקום או גז קורוזיבי למשך זמן רב.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
-
טיפול בפרוסות אפקטור קצה קרמיות אלומינה מותאמות אישית של ST.CERA
ST.CERA מציעה ציפוי ESD וחומר קרמי ESD, קצה אפקטור / זרוע טיפול עם תעלה חלולה מובנית. אנו מתמחים בטכניקה היוצרת תעלת אוויר בוואקום בתוך פיסת חומר אחת ללא שימוש בדבק.
אין סיכון של מזהמים, פליטת גזים או חלקיקים. זרוע הקצה/טיפול בוואקום של ST.CERA עם טכנולוגיית ציפוי מיוחדת מבודדת חשמלית. אנו יכולים גם לספק חומר קרמי ESD מבודד חשמלית ללא כל ציפוי.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃. -
רכיבי ציוד מוליכים למחצה של אפקטור קצה קרמי מאלומינה
מנע את היווצרות החלקיקים מהקצוות המשופעים או הזוויתיים ומהמשטח האחורי בזמן הובלת פרוסות סיליקון או מגע עם אפקטור הקצה / זרוע הטיפול.
עבור המדריכים, אימצנו חומר רך שאינו פוגע בוופל.
דילול אפשרי בעזרת טכנולוגיית תעלות הוואקום המובנית של ST.CERA שאינה משתמשת בדבקים.
ניתן ליצור חורי הרכבה ולשנות את אורך ורוחב הבסיס שבו מותקן האפקטור הקצה / זרוע הטיפול על הרובוט.
הרכבה של חיישנים, ברגים וסוגריים זמינים כאופציה.
מיועד לשימוש באטמוספירה.
-
עיבוד שבבי CNC מותאם אישית של אפקטור קצה קרמי של St.Cera
ST.CERA מציעה זרוע טיפול/אפקט קצה קרמי בוואקום עם תעלה חלולה מובנית. אנו מתמחים בטכניקה היוצרת תעלת אוויר בוואקום בתוך פיסת חומר אחת ללא שימוש בדבק.
אין סיכון של מזהמים, פליטת גזים או חלקיקים. זרועות הקצה/טיפול בוואקום של ST.CERA עם תעלה מובנית עמידות וניתנות לשימוש בטמפרטורות גבוהות. יתר על כן, ניתן להפחית את עלות הייצור שלנו על ידי ביטול הרכבה מיותרת.
עשוי מאבקת אלומינה בעלת טוהר גבוה, מעובד על ידי כבישה איזוסטטית קרה, סינטור בטמפרטורה גבוהה וגימור מדויק, הוא יכול להגיע לסבילות מידות של ±0.001 מ"מ, גימור פני השטח Ra 0.1, עמידות בטמפרטורה 1600 ℃.
