טבעת בידוד PVD מאלומינה למערכות שקיעת אדים פיזיות
טבעת הבידוד PVD של St.Cera מיוצרת מ-99.8% אלומינה (Al₂O₃) בעלת טוהר גבוה לשימוש במערכות שקיעת אדים פיזיקלית (PVD). הטבעת מספקת בידוד חשמלי בין רכיבי התא, מונעת קשתות ומבטיחה פעולת פלזמה יציבה. תכונות עיקריות כוללות חוזק דיאלקטרי גבוה (15×10⁶ V/m), התנגדות ספציפית >10¹⁴ Ω·mm²/m, ויציבות תרמית עד 1600°C. יכולות העיבוד המדויקות שלנו משיגות קטרים חיצוניים של עד 600 מ"מ, קטרים פנימיים עד 0.2 מ"מ, שטוחות של 0.003 מ"מ, וגימור פני שטח Ra0.1. נקבוביות אפסית של הטבעת והאינרטיות הכימית שלה מבטיחות אמינות לטווח ארוך בסביבות התזה אגרסיביות.
מפרט (מבוסס על 99.8% אלומיניום)₂O₃ויכולות ייצור של St.Cera):
| נֶכֶס | עֵרֶך |
| חוֹמֶר | 99.8% אלומינה (שנהב) |
| צְפִיפוּת | 3.93 גרם/סמ"ק |
| חוזק כיפוף | 361 מגה פסקל |
| קשיות ויקרס | 16 GPA |
| חוזק דיאלקטרי | 15×10⁶ וולט/מטר |
| התנגדות ספציפית | >10¹⁴ Ω·מ"מ²/מ"ר |
| קוטר חיצוני מקסימלי | 600 מ"מ |
| קוטר פנימי מינימלי | 0.2 מ"מ |
| עובי מקסימלי | 100 מ"מ |
| שְׁטִיחוּת | 0.003 מ"מ |
| מַקבִּילוּת | 0.002 מ"מ |
| גימור פני השטח | Ra0.1 |
| טמפרטורת הפעלה מקסימלית | 1600 מעלות צלזיוס |
יישומים:
- מבודדי לוחות גיבוי מכוונים במערכות PVD
- · מבודדי הזנת תא
- מבודדי טבעת מגן במערכות התזה
- בידוד מתח גבוה בתאי פלזמה
דיוק ייצור:
קונצנטריות: 0.01 מ"מ, עגלגלות: 0.002 מ"מ, ישרות: 0.005 מ"מ, ניצב: 0.005 מ"מ, מאומת על ידי CMM.
Aיתרונות על פני מבודדי פולימר:
- עמיד בטמפרטורות של 1600 מעלות צלזיוס לעומת טמפרטורה נמוכה מ-300 מעלות צלזיוס של הפולימר
- · ללא פליטת גזים - שומר על שלמות הוואקום
- עמיד בפני שחיקת פלזמה ותקיפה כימית
התאמה אישית:
חתכים מותאמים אישית, תכונות הרכבה, פרופילי מדרגות ועיצובים מרובים של טבעות קונצנטריות זמינים.
