בשילוב עם יתרונות הביצועים המקיפים של חומרי מצע מסורתיים Al2O3 ו-BeO, קרמיקה אלומיניום ניטריד (AlN), בעלת מוליכות תרמית גבוהה (המוליכות התרמית התיאורטית של מונוקריסטל היא 275W/m▪k, המוליכות התרמית התיאורטית של polycrystal היא W0~2107k. ), קבוע דיאלקטרי נמוך, מקדם התפשטות תרמית בהתאמה לסיליקון גבישי יחיד ותכונות בידוד חשמלי טובות, הוא חומר אידיאלי למצעי מעגלים ואריזות בתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה.זהו גם חומר חשוב לרכיבי קרמיקה מבניים בטמפרטורה גבוהה בשל התכונות המכניות הטובות בטמפרטורה גבוהה, התכונות התרמיות והיציבות הכימית.
הצפיפות התיאורטית של AlN היא 3.26g/cm3, קשיות ה-MOHS היא 7-8, ההתנגדות בטמפרטורת החדר גדולה מ-1016Ωm, והרחבת התרמית היא 3.5×10-6/℃ (טמפרטורת החדר של 200℃).קרמיקת AlN טהורה היא חסרת צבע ושקופה, אך היא תהיה בצבעים שונים כמו אפור, לבן אפרפר או צהוב בהיר, בגלל הזיהומים.
בנוסף למוליכות תרמית גבוהה, לקרמיקה של AlN יש גם את היתרונות הבאים:
1. בידוד חשמלי טוב;
2. מקדם התפשטות תרמית דומה עם סיליקון חד-גביש, עדיף על חומרים כמו Al2O3 ו-BeO;
3. חוזק מכני גבוה וחוזק כיפוף דומה עם קרמיקה Al2O3;
4. קבוע דיאלקטרי מתון ואובדן דיאלקטרי;
5. בהשוואה ל-BeO, המוליכות התרמית של קרמיקה AlN מושפעת פחות מהטמפרטורה, במיוחד מעל 200℃;
6. עמידות בטמפרטורה גבוהה ועמידות בפני קורוזיה;
7. לא רעיל;
8. להיות מיושם בתעשיית מוליכים למחצה, תעשיית מטלורגיה כימית ותחומי תעשייה אחרים.
זמן פרסום: 14 ביולי 2023